Prome-Photonic是專為光子芯片集成領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)光子引線鍵合技術(shù)（簡稱為PWB）設(shè)計的高性能激光直寫設(shè)備，擁有高精度納米級3D加工能力與高精度定位對準能力，致力于解決光子芯片三維集成中高精度跨層互連與異構(gòu)封裝的核心挑戰(zhàn)。通過多光子聚合（Multi-Photon Polymerization, MPP）技術(shù)，實現(xiàn)亞微米級自由曲面結(jié)構(gòu)的真三維加工，為硅光芯片、鈮酸鋰光子回路及量子光學器件的混合集成提供重要性制造平臺。
應用方向：
三維光互連結(jié)構(gòu)：實現(xiàn)芯片內(nèi)多層波導的立體橋接，提升集成密度與信號傳輸效率。
量子光子器件：用于制備HOM干涉儀、非阿貝爾編織結(jié)構(gòu)等，支撐片上量子信息處理。
端面光學元件：在芯片端面直接加工自由曲面透鏡或光柵，提升光纖耦合效率，降低封裝對準難度。
生物光子集成：結(jié)合微針或細胞支架結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)光學生物傳感與微創(chuàng)診療器件的一體化制造。
飛秒激光器維護要點：每月檢測輸出功率穩(wěn)定性，定期校準功率計。
光學鏡頭維護要點：每日使用無水乙醇清潔保護鏡，防止污染。
振鏡系統(tǒng)維護要點：每半年進行掃描范圍校準。
更新時間：2026-04-07
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