微納加工是指在微米至納米尺度上對材料進行成形、圖案化與結(jié)構(gòu)構(gòu)建的制造技術(shù)體系，是半導(dǎo)體、光電子、生物醫(yī)療和精密儀器等領(lǐng)域的共性基礎(chǔ)。傳統(tǒng)的微納加工主要依賴平面光刻工藝——在平坦的硅片或玻璃基底上，通過旋涂光刻膠、掩模曝光、顯影和刻蝕等步驟將設(shè)計圖案轉(zhuǎn)移至襯底表面。然而，平面光刻要求襯底表面平坦光滑，難以在曲面、柔性或非規(guī)則表面上實現(xiàn)高精度圖案化，且掩模版的制作成本較高、周期較長。

煙臺魔技納米科技有限公司成立于2017年，是一家三維微納制造領(lǐng)域集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)于一體的高新技術(shù)企業(yè)、省專精特新企業(yè)。公司的核心技術(shù)路線圍繞三維激光直寫光刻展開——這是一種無需物理掩模版的數(shù)字化加工方式，通過計算機控制飛秒激光的掃描路徑，在光刻膠內(nèi)逐點引發(fā)多光子聚合反應(yīng)，從而實現(xiàn)任意三維結(jié)構(gòu)的“寫入”。

魔技納米自主研發(fā)的商用納米級三維激光直寫光刻系統(tǒng)，可實現(xiàn)50納米精度的三維結(jié)構(gòu)加工。在加工幅面方面，公司突破了500×500mm²的大面積加工能力。這一精度和幅面的組合，在微納加工領(lǐng)域具有技術(shù)價值——既能夠滿足納米級精細結(jié)構(gòu)的制造需求，又能夠覆蓋工業(yè)級量產(chǎn)對加工面積的現(xiàn)實要求。

在生物醫(yī)療領(lǐng)域，魔技納米的三維激光直寫光刻設(shè)備被用于加工生物醫(yī)用微針。這類微針的針尖可達到納米級別，比頭發(fā)絲的千分之一還要小，恰好能夠穿透皮膚角質(zhì)層而又不觸及痛覺神經(jīng)，在無痛給藥方面展現(xiàn)出應(yīng)用潛力。在微納光學(xué)領(lǐng)域，該技術(shù)可用于制造三維光子晶體、微透鏡陣列、光波導(dǎo)耦合器及超材料等結(jié)構(gòu)。在光電通信領(lǐng)域，它被用于解決硅光芯片之間的高精度三維納米制造耦合問題。

從工藝路徑來看，魔技納米的微納加工方案覆蓋了從設(shè)備、材料到工藝的完整鏈條。公司推出了三維微納加工/納米3D打印設(shè)備、超快激光微納加工中心、無掩膜直寫光刻設(shè)備三大系列產(chǎn)品，以及多款光刻膠和激光器產(chǎn)品。公司自主研制了15種光刻膠，實現(xiàn)了材料的國產(chǎn)化替代。憑借在微納三維制造領(lǐng)域的技術(shù)積累，公司已成為華為等頭部企業(yè)的一級設(shè)備供應(yīng)商。