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微透鏡:魔技納米的微透鏡陣列制造技術

更新時間:2026-08-24點擊次數:191
微透鏡是指直徑在微米至毫米量級的微型光學透鏡,通常以陣列形式集成使用,構成微透鏡陣列。單個微透鏡的功能與傳統透鏡類似——對入射光進行匯聚、發散或準直,但當大量微透鏡以規則排列組成陣列時,便具備了傳統單透鏡難以實現的光場調控能力。微透鏡陣列不僅具有傳統透鏡的聚焦、成像等基本功能,而且具有單元尺寸小、集成度高的特點,能夠完成傳統光學元件無法完成的功能。

魔技納米在微透鏡制造領域采用的技術路線是基于多光子聚合的飛秒激光直寫技術。與傳統微透鏡制造方法相比,這一技術路徑的優勢在于:無需制作物理掩模版,可通過數字化設計直接“寫入”任意形狀的微透鏡結構;可實現球面、非球面及自由曲面的三維微光學器件制造;可充分利用高速運動臺及光束快速偏轉結合的方式進行加工。

在具體加工能力方面,魔技納米利用自研的三維納米制造系統,可在二氧化硅基板上實現直徑20微米、精度±0.3微米的微透鏡陣列加工。通過實時焦點補償算法克服曲面形變問題,在8英寸晶圓上可實現位置重復精度±50納米。公司還可加工任意三維形狀的組合微鏡等折射元件,以及透鏡陣列、光柵、勻光片等衍射光學元器件和模板的定制化制造。

魔技納米的微透鏡制造能力覆蓋了多種透鏡類型。公司的無掩膜光刻設備可用于加工分辨率板、微透鏡、衍射元件、錐面微透鏡、菲涅爾透鏡等。高性能無掩膜光刻設備支持從納米級到十微米級的多種加工模式,適用于高達12英寸的基材。在三維微納尺寸光刻膠產品方面,公司開發的光刻膠可廣泛用于光波導、微透鏡、微流體、超材料及生物醫藥等領域。

微透鏡陣列在集成光路、光通信、成像系統等領域具有應用價值。魔技納米的微納光學加工服務可用于制造三維光子晶體、微透鏡陣列、光波導耦合器及超材料等,這些器件是下一代光通信和量子計算的核心元件。公司還利用微納光學技術生產超薄導光膜,這是一種用于電子產品背光的新型導光器件,可取代LCD和移動智能終端上背光模組中的導光板,有助于降低背光模組的厚度和成本。 
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